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陶瓷研磨盤

    目前，采用陶瓷研磨盤研磨半導(dǎo)體硅片是最優(yōu)越最前沿的研磨方法。采用雙面研磨工藝對切割好的硅片進(jìn)行 研磨，通過改善研磨工藝（磨盤材質(zhì)、研磨液、研磨壓力及研磨轉(zhuǎn)速等）來提高研磨片的質(zhì)量；尤其是使用 陶瓷盤代替鑄鐵盤，避免研磨時對晶片的主面造成傷痕或污染，減少了金屬離子的引入，可減少硅片的后續(xù) 加工量，縮短了后續(xù)工序（腐蝕）時間，提高了生產(chǎn)效率，而且減少了硅片加工的損耗，大大地提高了硅片 的利用率。
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產(chǎn)品描述

用于半導(dǎo)體硅片研磨、單晶硅的加工領(lǐng)域等。

產(chǎn)品特點

  •         目前，采用陶瓷研磨盤研磨半導(dǎo)體硅片是最優(yōu)越最前沿的研磨方法。采用雙面研磨工藝對切割好的硅片進(jìn)行
  • 研磨，通過改善研磨工藝（磨盤材質(zhì)、研磨液、研磨壓力及研磨轉(zhuǎn)速等）來提高研磨片的質(zhì)量；尤其是使用陶瓷
  • 盤代替鑄鐵盤，避免研磨時對晶片的主面造成傷痕或污染，減少了金屬離子的引入，可減少硅片的后續(xù)加工量，
  • 縮短了后續(xù)工序（腐蝕）時間，提高了生產(chǎn)效率，而且減少了硅片加工的損耗，大大地提高了硅片的利用率。

技術(shù)指標(biāo)

物理指標(biāo) 

性能 順鵬陶瓷
 國內(nèi)水平 國外水平
密度（g/cm3）
 3.97
 3.81-3.93
 3.9-3.94
純度（%）
 99.9 98-99.8 99.5-99.9
維氏硬度（GPa）
 17
 14-15
 16-17.5
三點抗彎強(qiáng)度(MPa)
 520 300-350
 330-400


產(chǎn)品規(guī)格

∅850mm、厚45mm以下的高純氧化鋁圓盤、園環(huán)（尺寸可以定制）
我司還可以生產(chǎn)以下規(guī)格的高端陶瓷：
1、1500×600×25mm以下的長板、長條、方板、薄板；
2、1000×45×45mm以下的導(dǎo)軌；
3、∅300×500mm以下的空管、圓柱體、電真空管等
4、各種形狀的異形件定制產(chǎn)品

順鵬優(yōu)勢

  我們的產(chǎn)品已出口到澳大利亞、智利、南非、美國、俄羅斯、日本、印度尼西亞等國家，順鵬可提供耐磨陶瓷技術(shù)解決方案，將提供適合您要求的產(chǎn)品和優(yōu)質(zhì)服務(wù)。

產(chǎn)品展示

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P003

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